Chip MBE verkefnið lauk á undanförnum árum

Tækni

Molecular geisla epitaxy, eða MBE, er ný tækni til að rækta hágæða þunnar filmur af kristöllum á kristal undirlagi. Við ofurháa lofttæmisaðstæður er hitunarofninn búinn alls kyns nauðsynlegum íhlutum og myndar gufu, í gegnum holur sem myndast eftir að hafa borist saman atóm- eða sameindargeisla, bein innspýting við viðeigandi hitastig eins kristals undirlags, sem stýrir sameinda geisla undirlagið skannar á sama tíma, það getur gert sameindirnar eða frumeindirnar í kristaljöfnunarlögum til að mynda þunna filmu á undirlaginu "vöxtur".

Til eðlilegrar notkunar MBE búnaðar er nauðsynlegt að flytja með miklum hreinleika, lágum þrýstingi og ofurhreinu fljótandi köfnunarefni til kæliklefa búnaðarins. Almennt hefur geymir sem veitir fljótandi köfnunarefni framleiðsluþrýsting á milli 0,3 MPa og 0,8 MPa. Fljótandi köfnunarefni við -196 ℃ er auðvelt að gufa upp í köfnunarefni meðan á flutningi leiðslu stendur. Þegar fljótandi köfnunarefni með hlutfalli gasi og vökva um það bil 1: 700 er gasað í leiðslunni mun það taka mikið magn af fljótandi köfnunarefnisflæði og draga úr eðlilegu rennsli í lok fljótandi köfnunarefnisleiðslu. Að auki, í geymslutanki fljótandi köfnunarefnis, er líklegt að það sé rusl sem ekki hefur verið hreinsað. Í leiðslunni fyrir fljótandi köfnunarefni mun tilvist blautt loft einnig leiða til myndunar íssgjalls. Ef þessum óhreinindum er hleypt út í búnaðinn mun það valda ófyrirsjáanlegu tjóni á búnaðinum.

Þess vegna er fljótandi köfnunarefnið í geymslutankinum úti flutt til MBE búnaðarins í ryklausa verkstæðinu með mikilli skilvirkni, stöðugleika og hreinu og lágur þrýstingur, ekkert köfnunarefni, engin óhreinindi, 24 klukkustundir án truflana, slíkt flutningstýrikerfi hæf framleiðsla.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Samsvörun MBE búnaðar

Síðan 2005 hefur HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) verið að hagræða og bæta þetta kerfi og vinna með alþjóðlegum framleiðendum MBE búnaðar. Framleiðendur búnaðar MBE, þar á meðal DCA, REBER, eiga samstarf við fyrirtæki okkar. Framleiðendur MBE búnaðar, þar á meðal DCA og REBER, hafa unnið að miklum fjölda verkefna.

Riber SA er leiðandi alheimsframleiðandi á sameinda geislavirkum vörum (MBE) og tengdri þjónustu fyrir rannsóknir á blönduðum hálfleiðara og iðnaðarforritum. Riber MBE tækið getur lagt mjög þunnt lag af efni á undirlagið, með mjög háum stýringum. Tómarúmbúnaður HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) er búinn Riber SA Stærsti búnaðurinn er Riber 6000 og sá minnsti er Compact 21. Hann er í góðu ástandi og hefur verið viðurkenndur af viðskiptavinum.

DCA er leiðandi oxandi MBE. Frá árinu 1993 hefur verið unnið að skipulegri þróun oxunaraðferða, hitunar andoxunarefna undirlags og andoxunarefna. Af þessum sökum hafa margar leiðandi rannsóknarstofur valið DCA oxíð tækni. Samsett MBE kerfi hálfleiðara eru notuð um allan heim. VJ fljótandi köfnunarefnishringrásarkerfi HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) og MBE búnaður margra gerða DCA hafa samsvarandi reynslu í mörgum verkefnum, svo sem P600, R450, SGC800 o.fl.

tcm (2)

Árangursborð

Shanghai Institute of Technical Physics, kínverska vísindaakademían
11. Institute of China Electronics Technology Corporation
Hálfleiðarastofnun, kínverska vísindaakademían
Huawei
Alibaba DAMO Academy
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Póstur: maí-26-2021