Yfirlit um sameindageislaþekju (MBE)
Tæknin Molecular Beam Epitaxy (MBE) var þróuð á fimmta áratugnum til að undirbúa hálfleiðara þunnt filmuefni með því að nota lofttæmisuppgufunartækni. Með þróun öfgahára lofttæmistækni hefur beiting tækni verið útvíkkuð á sviði hálfleiðaravísinda.
Hvatinn að rannsóknum á hálfleiðaraefnum er eftirspurn eftir nýjum tækjum, sem gætu bætt afköst kerfisins. Aftur á móti getur ný efnistækni framleitt nýjan búnað og nýja tækni. Molecular beam epitaxy (MBE) er hátæmitækni fyrir epitaxial lag (venjulega hálfleiðara) vöxt. Það notar hitageisla frumeinda eða sameinda sem hafa áhrif á einskristal hvarfefni. Ofurhátt lofttæmiseiginleikar ferlisins leyfa málmvinnslu á staðnum og vöxt einangrunarefna á nýræktuðum hálfleiðaraflötum, sem leiðir til mengunarlausra viðmóta.
MBE tækni
Sameindageislaeintakið var framkvæmt í miklu lofttæmi eða ofurháu lofttæmi (1 x 10-8Pa) umhverfi. Mikilvægasti þátturinn í sameindageislaþekju er lágur útfellingarhraði þess, sem gerir kvikmyndinni venjulega kleift að vaxa með hraða sem er innan við 3000 nm á klukkustund. Svo lágt útfellingarhraði krefst nógu hátt lofttæmis til að ná sama hreinleikastigi og aðrar útfellingaraðferðir.
Til að mæta ofurhátt lofttæmi sem lýst er hér að ofan, er MBE tækið (Knudsen klefi) með kælilag og ofurháu lofttæmi umhverfi vaxtarhólfsins verður að viðhalda með því að nota fljótandi köfnunarefnis hringrásarkerfi. Fljótandi köfnunarefni kælir innra hitastig tækisins í 77 Kelvin (−196 °C). Lágt hitastig umhverfið getur enn frekar dregið úr innihaldi óhreininda í lofttæmi og veitt betri skilyrði fyrir útfellingu þunnra filma. Þess vegna þarf sérstakt kælikerfi fyrir fljótandi köfnunarefni til að MBE búnaðurinn veiti stöðugt og stöðugt framboð af -196 °C fljótandi köfnunarefni.
Hringrásarkerfi fyrir fljótandi köfnunarefni
Tómarúm fljótandi köfnunarefnis kælikerfi inniheldur aðallega,
● Cryogenic tankur
● aðal og útibú tómarúm jacketed pípa / vacuum jacketed slönguna
● MBE sérfasaskiljari og lofttæmdarútblástursrör
● ýmsar lofttæmihúðaðar lokar
● gas-vökva hindrun
● lofttæmihúðuð sía
● kraftmikið tómarúmdælukerfi
● Forkæling og hreinsun upphitunarkerfis
HL Cryogenic Equipment Company hefur tekið eftir eftirspurn eftir MBE kælikerfi fyrir fljótandi köfnunarefni, skipulagt tæknilegt burðarás til að þróa með góðum árangri sérstakt MBE fljótandi köfnunarefnis kælikerfi fyrir MBE tækni og fullkomið sett af lofttæmi einangrun.edlagnakerfi, sem hefur verið notað í mörgum fyrirtækjum, háskólum og rannsóknastofnunum.
HL Cryogenic búnaður
HL Cryogenic Equipment sem var stofnað árið 1992 er vörumerki tengt Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company í Kína. HL Cryogenic Equipment hefur skuldbundið sig til hönnunar og framleiðslu á hátæmieinangruðu Cryogenic Piping System og tengdum stuðningsbúnaði.
Fyrir frekari upplýsingar, vinsamlegast farðu á opinberu vefsíðunawww.hlcryo.com, eða sendu tölvupóst áinfo@cdholy.com.
Pósttími: maí-06-2021
