Stutt um sameinda geisla (MBE)
Tækni sameinda geislaþekju (MBE) var þróuð á sjötta áratugnum til að undirbúa hálfleiðara þunnt filmuefni með því að nota tómarúm uppgufunartækni. Með þróun öfgafullrar tómarúmstækni hefur beitingu tækni verið útvíkkuð á sviði hálfleiðara vísinda.
Hvatning rannsókna á hálfleiðara er eftirspurnin eftir nýjum tækjum, sem geta bætt árangur kerfisins. Aftur á móti getur ný efnistækni framleitt nýjan búnað og nýja tækni. Sameindageisla (MBE) er mikil tómarúmstækni fyrir vaxtarþekju (venjulega hálfleiðara) vöxt. Það notar hitageisla uppspretta atóma eða sameinda sem hafa áhrif á stakt kristal undirlag. Mjög háu lofttæmiseinkenni ferlisins leyfa málmvæðingu á staðnum og vöxt einangrunarefna á nýlega ræktaðri hálfleiðara yfirborð, sem leiðir til mengunarlausra viðmóta.
MBE tækni
Sameinda geislaþekjan var framkvæmd í háu lofttæmi eða mjög háu lofttæmi (1 x 10-8PA) umhverfi. Mikilvægasti þátturinn í þekju sameinda geislans er lágt útfellingarhraði þess, sem venjulega gerir myndinni kleift að vaxa eftirlíking með minna en 3000 nm á klukkustund. Slík lágt útfellingarhlutfall krefst nógu hátt tómarúm til að ná sama hreinleika og aðrar útfellingaraðferðir.
Til að mæta öfgafullu lofttegundinni sem lýst er hér að ofan, er MBE tækið （Knudsen klefi） er með kælingarlag og að viðhalda öfgafullu lofttegundum vaxtarhólfsins með því að nota fljótandi köfnunarefnishringskerfi. Fljótandi köfnunarefni kælir innri hitastig tækisins í 77 Kelvin (−196 ° C). Lágt hitastigsumhverfi getur dregið enn frekar úr innihaldi óhreininda í lofttæmi og veitt betri skilyrði fyrir útfellingu þunnra kvikmynda. Þess vegna er sérstakt fljótandi köfnunarefniskælingarkerfi krafist fyrir MBE búnaðinn til að veita stöðugt og stöðugt framboð á -196 ° C fljótandi köfnunarefni.
Fljótandi köfnunarefniskælingarhringrásarkerfi
Tómarúm fljótandi köfnunarefniskælingarrásarkerfi felur aðallega í sér,
● Cryogenic tankur
I
I
● Ýmsir tómarúmjakkaðir lokar
● Gas-fljótandi hindrun
● Tómarúmjakkað sía
● Dynamískt tómarúmdælukerfi
● Forsætis og hreinsunarkerfi
HL Cryogenic Equipment Company hefur tekið eftir eftirspurn eftir MBE fljótandi köfnunarefniskælingarkerfi, skipulagt tæknilega burðarás til að þróa sérstakt MBE fljótandi köfnunarefnissamvinnukerfi fyrir MBE tækni og fullkomið mengi tómarúms einangrunaredLeiðslukerfi, sem hefur verið notað í mörgum fyrirtækjum, háskólum og rannsóknarstofnunum.
HL Cryogenic búnaður
HL Cryogenic búnaður sem var stofnaður árið 1992 er vörumerki tengd Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company í Kína. HL Cryogenic búnaður er skuldbundinn til hönnun og framleiðslu á háu lofttæmis einangruðu kryógenrörum og tengdum stuðningsbúnaði.
Frekari upplýsingar er að finna á opinberu vefsíðunniwww.hlcryo.com, eða sendu tölvupóst tilinfo@cdholy.com.
Pósttími: maí-06-2021
