Yfirlit yfir sameindageislaepitaxíu (MBE)
Tæknin sem kallast sameindageislaepitaxía (MBE) var þróuð á sjötta áratug síðustu aldar til að framleiða þunnfilmuefni úr hálfleiðurum með því að nota lofttæmisgufutækni. Með þróun tækni í ofurháu lofttæmi hefur notkun tækninnar verið útvíkkuð til sviðs hálfleiðaravísinda.
Kvöð rannsókna á hálfleiðaraefnum er eftirspurn eftir nýjum tækjum, sem gætu bætt afköst kerfisins. Ný efnistækni gæti aftur á móti leitt til nýs búnaðar og nýrrar tækni. Sameindageislaþjöppun (MBE) er tækni með mikilli lofttæmingu fyrir vöxt þjöppulaga (venjulega hálfleiðara). Hún notar hitageisla frumefnis eða sameinda sem hafa áhrif á einkristalla undirlag. Ofurhá lofttæmiseiginleikar ferlisins gera kleift að málma og vaxa einangrandi efna á staðnum á nývöxnum hálfleiðarayfirborðum, sem leiðir til mengunarlausra snertiflata.
MBE Tækni
Sameindageislaepitaxían var framkvæmd í háu lofttæmi eða ofurháu lofttæmi (1 x 10-8Pa) umhverfi. Mikilvægasti þátturinn í sameindageislaþjöppun er lágur útfellingarhraði hennar, sem gerir venjulega filmunni kleift að vaxa útfellingarhraða undir 3000 nm á klukkustund. Slíkur lágur útfellingarhraði krefst nógu mikils lofttæmis til að ná sama hreinleikastigi og aðrar útfellingaraðferðir.
Til að ná fram því ofurháa lofttæmi sem lýst er hér að ofan hefur MBE tækið (Knudsen fruma) kælilag og viðhalda verður ofurháu lofttæmisumhverfi vaxtarhólfsins með því að nota fljótandi köfnunarefnisrásarkerfi. Fljótandi köfnunarefni kælir innra hitastig tækisins niður í 77 Kelvin (−196 °C). Lághitaumhverfið getur enn frekar dregið úr óhreinindum í lofttæmi og skapað betri skilyrði fyrir útfellingu þunnra filmu. Þess vegna er sérstakt fljótandi köfnunarefnis kælikerfi fyrir MBE búnaðinn nauðsynlegt til að veita samfellda og stöðuga framboð af -196 °C fljótandi köfnunarefni.
Kælikerfi fyrir fljótandi köfnunarefni
Kælikerfi fyrir fljótandi köfnunarefni í lofttæmi inniheldur aðallega,
● Kryógenískt tankur
● aðal- og greinarrör með lofttæmiskjól / lofttæmiskjólslöngu
● Sérstakur fasaskiljari MBE og lofttæmisklæddur útblástursrör
● ýmsar lofttæmislokur
● gas-vökva hindrun
● lofttæmissía með kápu
● kraftmikið lofttæmisdælukerfi
● Forkælingar- og endurhitunarkerfi
HL Cryogenic Equipment Company hefur tekið eftir eftirspurn eftir MBE fljótandi köfnunarefniskælikerfum, skipulagt tæknilegt bakland til að þróa með góðum árangri sérstakt MBE fljótandi köfnunarefniskælikerfi fyrir MBE tækni og heilt sett af lofttæmiseinangrunarbúnaði.edpípulagnakerfi, sem hefur verið notað í mörgum fyrirtækjum, háskólum og rannsóknarstofnunum.
HL Kryógenísk búnaður
HL Cryogenic Equipment, sem var stofnað árið 1992, er vörumerki tengt Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company í Kína. HL Cryogenic Equipment hefur sérhæft sig í hönnun og framleiðslu á einangruðum lágloftsleiðslukerfum og tengdum stuðningsbúnaði.
Fyrir frekari upplýsingar, vinsamlegast heimsækið opinberu vefsíðunawww.hlcryo.com, eða senda tölvupóst áinfo@cdholy.com.
Birtingartími: 6. maí 2021
