Molecular Beam Epitaxy og fljótandi köfnunarefnis hringrásarkerfi í hálfleiðara og flís iðnaði

Yfirlit um sameindageislaþekju (MBE)

Tæknin Molecular Beam Epitaxy (MBE) var þróuð á 1950 til að undirbúa hálfleiðara þunn filmuefni með því að nota lofttæmisuppgufunartækni.Með þróun öfgahára lofttæmistækni hefur beiting tækni verið útvíkkuð á sviði hálfleiðaravísinda.

Hvatinn að rannsóknum á hálfleiðaraefnum er eftirspurn eftir nýjum tækjum, sem gætu bætt afköst kerfisins.Aftur á móti getur ný efnistækni framleitt nýjan búnað og nýja tækni.Molecular beam epitaxy (MBE) er hátæmitækni fyrir epitaxial lag (venjulega hálfleiðara) vöxt.Það notar hitageisla frumeinda eða sameinda sem hafa áhrif á einskristal hvarfefni.Ofurhátt lofttæmiseiginleikar ferlisins leyfa málmvinnslu á staðnum og vöxt einangrunarefna á nýræktuðum hálfleiðaraflötum, sem leiðir til mengunarlausra viðmóta.

fréttir bg (4)
fréttir bg (3)

MBE tækni

Sameindageislaeintakið var framkvæmt í miklu lofttæmi eða ofurháu lofttæmi (1 x 10-8Pa) umhverfi.Mikilvægasti þátturinn í sameindageislaþekju er lágur útfellingarhraði hennar, sem gerir kvikmyndinni venjulega kleift að vaxa með hraða sem er innan við 3000 nm á klukkustund.Svo lágt útfellingarhraði krefst nógu hátt lofttæmis til að ná sama hreinleikastigi og aðrar útfellingaraðferðir.

Til að mæta ofurhátt lofttæmi sem lýst er hér að ofan, er MBE tækið (Knudsen klefi) með kælilag og ofurháu lofttæmi umhverfi vaxtarhólfsins verður að viðhalda með því að nota fljótandi köfnunarefnis hringrásarkerfi.Fljótandi köfnunarefni kælir innra hitastig tækisins í 77 Kelvin (−196 °C).Lághitaumhverfið getur enn frekar dregið úr innihaldi óhreininda í lofttæmi og veitt betri skilyrði fyrir útfellingu þunnra filma.Þess vegna er sérstakt kælikerfi fyrir fljótandi köfnunarefni nauðsynlegt fyrir MBE búnaðinn til að veita stöðugt og stöðugt framboð af -196 °C fljótandi köfnunarefni.

Hringrásarkerfi fyrir fljótandi köfnunarefni

Tómarúm fljótandi köfnunarefnis kælikerfi inniheldur aðallega,

● Cryogenic tankur

● aðal- og útibú tómarúmhúðuð pípa / lofttæmihúðuð slöngu

● MBE sérfasaskilja og lofttæmdarútblástursrör

● ýmsar lofttæmihúðaðar lokar

● gas-vökva hindrun

● lofttæmihúðuð sía

● kraftmikið tómarúmdælukerfi

● Forkæling og hreinsun upphitunarkerfis

HL Cryogenic Equipment Company hefur tekið eftir eftirspurn eftir MBE kælikerfi fyrir fljótandi köfnunarefni, skipulagt tæknilegt burðarás til að þróa með góðum árangri sérstakt MBE fljótandi köfnunarefni kælikerfi fyrir MBE tækni og fullkomið sett af lofttæmi einangrun.edlagnakerfi, sem hefur verið notað í mörgum fyrirtækjum, háskólum og rannsóknastofnunum.

fréttir bg (1)
fréttir bg (2)

HL Cryogenic búnaður

HL Cryogenic Equipment sem var stofnað árið 1992 er vörumerki tengt Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company í Kína.HL Cryogenic Equipment hefur skuldbundið sig til hönnunar og framleiðslu á hátæmdu einangruðu Cryogenic Piping System og tengdum stuðningsbúnaði.

Fyrir frekari upplýsingar, vinsamlegast farðu á opinberu vefsíðunawww.hlcryo.com, eða sendu tölvupóst áinfo@cdholy.com.


Birtingartími: maí-06-2021