Fljótandi köfnunarefniskælikerfin eru mikið notuð í hálfleiðara- og flísiðnaðinum, þar á meðal ferlið við,
- Tækni Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Próf flíssins eftir COB pakka
Tengdar vörur
Vacuum Insulated Pipe Series
Vacuum einangruð sveigjanleg slönguröð
Dynamic Vacuum Pump System
Vacuum Insulated Phase Separator Series
Vacuum einangruð lokaröð
Stuðningsbúnaður fyrir lagnakerfi
MOECULAR BEAM EPITAXY
Tæknin Molecular Beam Epitaxy (MBE) var þróuð á fimmta áratugnum til að undirbúa hálfleiðara þunnt filmuefni með því að nota lofttæmisuppgufunartækni. Með þróun öfgahára lofttæmistækni hefur beiting tækni verið útvíkkuð á sviði hálfleiðaravísinda.
HL hefur tekið eftir eftirspurn eftir MBE fljótandi köfnunarefniskælikerfi, skipulagt tæknilegt burðarás til að þróa með góðum árangri sérstakt MBE fljótandi köfnunarefnis kælikerfi fyrir MBE tækni og fullkomið sett af lofttæmandi einangruðu lagnakerfi, sem hefur verið notað í mörgum fyrirtækjum, háskólum og rannsóknarstofnunum .
Algeng vandamál hálfleiðara og flísaiðnaðarins eru ma,
- Þrýstingur fljótandi köfnunarefnis í flugstöð (MBE) búnað. Komið í veg fyrir ofhleðslu á þrýstingi frá skaðabúnaði (MBE).
- Margfeldi Cryogenic vökvainntaks- og úttakstýringar
- Hitastig fljótandi köfnunarefnis í endabúnað
- Hæfilegt magn af Cryogenic gaslosun
- (Sjálfvirkt) Skipt á aðal- og útibúlínum
- Þrýstingastilling (minnkandi) og stöðugleiki VIP
- Hreinsið burt möguleg óhreinindi og ísleifar úr tankinum
- Áfyllingartími lokafljótandi búnaðar
- Forkæling leiðslu
- Vökvaþol í VIP kerfi
- Stjórna tapi á fljótandi köfnunarefni við ósamfellda þjónustu kerfisins
Vacuum Insulated Pipe (VIP) frá HL er byggt samkvæmt ASME B31.3 Pressure Piping kóða sem staðall. Verkfræðireynsla og gæðaeftirlitsgeta til að tryggja skilvirkni og hagkvæmni verksmiðju viðskiptavinarins.
LAUSNIR
HL Cryogenic Equipment veitir viðskiptavinum Vacuum Insulated Piping System til að uppfylla kröfur og skilyrði hálfleiðara- og flísiðnaðarins:
1.Gæðastjórnunarkerfi: ASME B31.3 Þrýstipípakóði.
2.A Sérstakur fasaskiljari með margfeldi Cryogenic vökvainntak og úttak með sjálfvirkri stjórnunaraðgerð uppfyllir kröfur um gaslosun, endurunnið fljótandi köfnunarefni og hitastig fljótandi köfnunarefnis.
3. Fullnægjandi og tímabær útblásturshönnun tryggir að endabúnaður virki alltaf innan hönnuðs þrýstigildis.
4. Gas-vökva hindrunin er sett í lóðrétta VI pípuna við enda VI leiðslunnar. Gas-fljótandi hindrun notar gasþéttingarregluna til að loka fyrir hita frá enda VI leiðslunnar inn í VI leiðsluna og draga í raun úr tapi á fljótandi köfnunarefni við ósamfellda og hléa þjónustu kerfisins.
5.VI Pípur stjórnað af Vacuum Insulated Valve (VIV) röðinni: Þar á meðal tómarúmeinangraður (pneumatic) lokunarventill, tómarúmeinangraður afturventill, lofttæmiseinangraður stilliventil o.fl. Hægt er að sameina ýmsar gerðir af VIV til að stjórna VIP sem krafist. VIV er samþætt VIP forsmíði í framleiðanda, án einangraðrar meðferðar á staðnum. Auðvelt er að skipta um innsigliseiningu VIV. (HL samþykkir vörumerkið fyrir frostloka sem viðskiptavinir hafa tilnefnt og framleiðir síðan lofttæmiseinangraðar lokar af HL. Ekki er víst að hægt sé að búa til lofttæmiseinangruð lokar af sumum vörumerkjum og gerðum loka.)
6.Hreinleiki, ef það eru viðbótarkröfur um hreinleika yfirborðs innra rörsins. Lagt er til að viðskiptavinir velji BA eða EP ryðfríu stáli rör sem VIP innri rör til að draga enn frekar úr ryðfríu stáli.
7.Vacuum einangruð sía: Hreinsaðu burt hugsanleg óhreinindi og ísleifar úr tankinum.
8.Eftir nokkra daga eða lengri lokun eða viðhald er mjög nauðsynlegt að forkæla VI leiðslur og endabúnað áður en frostvökvi er sleginn inn, til að forðast ísgjall eftir að frostvökvi fer beint inn í VI leiðslur og endabúnað. Huga skal að forkælingu við hönnun. Það veitir betri vernd fyrir endabúnað og VI Piping stuðningsbúnað eins og loka.
9.Suit fyrir bæði Dynamic og Static Vacuum Insulated (Flexible) Piping System.
10.Dynamic Vacuum Insulated (sveigjanlegt) Pípukerfi: Samanstendur af VI sveigjanlegum slöngum og/eða VI Pípu, Jumper slöngum, Vacuum Insulated Valve System, Fasa Separators og Dynamic Vacuum Pump System (þ. ). Hægt er að aðlaga lengd einnar VI sveigjanlegrar slöngu í samræmi við kröfur notanda.
11.Various tengingargerðir: Vacuum Bayonet Connection (VBC) Tegund og soðið tenging er hægt að velja. VBC gerð þarf ekki einangruð meðferð á staðnum.
