Kælikerfi með fljótandi köfnunarefni eru mikið notuð í hálfleiðara- og örgjörvaiðnaðinum, þar á meðal í ferlinu við,
- Tækni sameindageislaepitaxíu (MBE)
- Prófun flísarinnar eftir COB pakka
Tengdar vörur
Lofttæmis einangruð rörasería
Sveigjanleg slönguslöngur með lofttæmiseinangrun
Dynamískt lofttæmisdælukerfi
Lofttæmis einangruð fasa aðskilnaðarröð
Lofttæmis einangruð lokaröð
Stuðningsbúnaður fyrir pípulagnir
SAMEININGARGEISLAÞJÓNUSTA
Tæknin sem kallast sameindageislaepitaxía (MBE) var þróuð á sjötta áratug síðustu aldar til að framleiða þunnfilmuefni úr hálfleiðurum með því að nota lofttæmisgufutækni. Með þróun tækni í ofurháu lofttæmi hefur notkun tækninnar verið útvíkkuð til sviðs hálfleiðaravísinda.
HL hefur tekið eftir eftirspurn eftir MBE kælikerfi með fljótandi köfnunarefni, skipulagt tæknilegan grunn til að þróa með góðum árangri sérstakt MBE kælikerfi með fljótandi köfnunarefni fyrir MBE tækni og heilt sett af lofttæmis-einangruðum pípulögnum, sem hefur verið notað í mörgum fyrirtækjum, háskólum og rannsóknarstofnunum.
Algeng vandamál í hálfleiðara- og örgjörvaiðnaðinum eru meðal annars,
- Þrýstingur fljótandi köfnunarefnis í tengibúnað (MBE). Komið í veg fyrir að ofþrýstingur skemmi tengibúnað (MBE).
- Margfeldi inntaks- og úttaksstýringar fyrir kryógenískan vökva
- Hitastig fljótandi köfnunarefnis í tengibúnaði
- Sanngjörn losun lághitagass
- (Sjálfvirk) skipting aðal- og greinalína
- Þrýstingsstilling (lækkun) og stöðugleiki VIP
- Að hreinsa burt hugsanleg óhreinindi og ísleifar úr tankinum
- Fyllingartími á fljótandi búnaði á flugstöðinni
- Forkæling leiðslna
- Vökvaþol í VIP kerfi
- Stjórna tapi á fljótandi köfnunarefni við ósamfellda notkun kerfisins
Lofttæmiseinangruðu rörin (VIP) frá HL eru smíðuð samkvæmt ASME B31.3 þrýstijöfnunarstaðlinum. Reynsla af verkfræði og hæfni til gæðaeftirlits tryggir skilvirkni og hagkvæmni verksmiðju viðskiptavinarins.
LAUSNIR
HL Cryogenic Equipment býður viðskiptavinum upp á lofttæmiseinangruð pípukerfi til að uppfylla kröfur og skilyrði hálfleiðara- og örgjörvaiðnaðarins:
1. Gæðastjórnunarkerfi: ASME B31.3 þrýstileiðslukóði.
2. Sérstakur fasaskiljari með mörgum inn- og útrásum fyrir lágþrýstingsvökva með sjálfvirkri stjórnvirkni uppfyllir kröfur um losun lofttegunda, endurunnið fljótandi köfnunarefni og hitastig fljótandi köfnunarefnis.
3. Fullnægjandi og tímanleg hönnun útblásturs tryggir að endabúnaður virki alltaf innan hönnuðs þrýstingsgildis.
4. Gas-vökvaþröskuldurinn er settur í lóðrétta VI-pípuna í enda VI-leiðslunnar. Gas-vökvaþröskuldurinn notar gasþéttiregluna til að loka fyrir hita frá enda VI-leiðslunnar inn í VI-lögnina og draga þannig úr tapi fljótandi köfnunarefnis við ósamfellda og slitrótta þjónustu kerfisins.
5. VI pípur stjórnaðar af lofttæmiseinangruðum lokaröð (VIV): Þar á meðal lofttæmiseinangraðir (loftknúnir) lokunarlokar, lofttæmiseinangraðir afturlokar, lofttæmiseinangraðir stjórnlokar o.s.frv. Hægt er að sameina ýmsar gerðir af VIV til að stjórna VIP eftir þörfum. VIV er samþætt VIP forsmíði frá framleiðanda, án einangrunarmeðferðar á staðnum. Þéttieining VIV er auðvelt að skipta út. (HL samþykkir lághitalokamerki sem viðskiptavinir tilnefna og framleiðir síðan lofttæmiseinangruð loka af HL. Sum vörumerki og gerðir loka eru hugsanlega ekki hægt að framleiða í lofttæmiseinangruð loka.)
6. Hreinlæti, ef frekari kröfur eru gerðar um hreinleika yfirborðs innri rörsins. Mælt er með að viðskiptavinir velji BA eða EP ryðfrítt stálrör sem VIP innri rör til að draga enn frekar úr leka úr ryðfríu stáli.
7. Lofttæmiseinangruð sía: Hreinsið hugsanleg óhreinindi og ísleifar úr tankinum.
8. Eftir nokkra daga eða lengri lokun eða viðhald er mjög nauðsynlegt að forkæla VI-lagnirnar og tengibúnaðinn áður en lágkælivökvi kemst inn í hana, til að koma í veg fyrir ísslag eftir að lágkælivökvi kemst beint inn í VI-lagnirnar og tengibúnaðinn. Hafa skal forkælingarvirkni í huga við hönnun. Hún veitir betri vörn fyrir tengibúnað og stuðningsbúnað VI-lagnanna, svo sem loka.
9. Hentar bæði fyrir kraftmikið og stöðugt lofttæmiseinangrað (sveigjanlegt) pípulagnakerfi.
10. Sveigjanlegt pípulagnakerfi með einangrun með lofttæmi: Samanstendur af sveigjanlegum VI slöngum og/eða VI pípu, tengislöngum, lofttæmiseinangruðu lokakerfi, fasaskiljurum og sveigjanlegu lofttæmisdælukerfi (þar með taldar lofttæmisdælur, rafsegullokar og lofttæmismælar o.s.frv.). Lengd einstakra sveigjanlegra VI slöngna er hægt að aðlaga eftir þörfum notanda.
11. Ýmsar gerðir tenginga: Hægt er að velja lofttæmis-bajonettengingu (VBC) og suðutengingu. VBC gerðin þarfnast ekki einangrunar á staðnum.
