Fljótandi köfnunarefniskælingarkerfi eru mikið notuð í hálfleiðara og flísarnaðinum, þar með talið ferlið við,
- Tækni sameinda geisla (MBE)
- Flísprófið eftir cob pakka
Tengdar vörur
Tómarúm einangruð pípusería
Tómarúm einangruð sveigjanleg slönguröð
Kraftmikið tómarúmdælukerfi
Tómarúm einangruð fasa skilju röð
Tómarúm einangruð loki röð
Stuðningsbúnaður fyrir lagerkerfi
Sameinda geislaþekju
Tækni sameinda geislaþekju (MBE) var þróuð á sjötta áratugnum til að undirbúa hálfleiðara þunnt filmuefni með því að nota tómarúm uppgufunartækni. Með þróun öfgafullrar tómarúmstækni hefur beitingu tækni verið útvíkkuð á sviði hálfleiðara vísinda.
HL hefur tekið eftir eftirspurn eftir MBE fljótandi köfnunarefniskælingarkerfi, skipulagt tæknilega burðarás til að þróa sérstakt MBE fljótandi köfnunarefnisöflunarkerfi fyrir MBE tækni og fullkomið mengi tómarúms einangraðs leiðslukerfis, sem hefur verið notað í mörgum fyrirtækjum, háskólum og rannsóknarstofnunum .
Algeng vandamál hálfleiðara og flísariðnaðar fela í sér,
- Þrýstingur fljótandi köfnunarefnis í lok (MBE) búnað. Koma í veg fyrir að ofhleðsla þrýstings skaða búnað (MBE).
- Margfeldi cryogenic fljótandi inntak og útrásarstýringar
- Hitastig fljótandi köfnunarefnis í lokbúnað
- Sanngjarnt magn af losun á kryógeni
- (Sjálfvirk) Skipt á aðal- og greinalínum
- Þrýstingsstilling (minnka) og stöðugleiki VIP
- Hreinsa burt hugsanleg óhreinindi og ísleifar úr tankinum
- Fyllingartíma endanlegrar vökvabúnaðar
- Forkæling leiðslna
- Fljótandi viðnám í VIP kerfi
- Eftirlitstap á fljótandi köfnunarefni við ósamfellda þjónustu kerfisins
Tómarúm einangruð pípa HL (VIP) er smíðuð í ASME B31.3 Þrýstingslögnarkóða sem staðal. Verkfræðiupplifun og gæðaeftirlitshæfni til að tryggja skilvirkni og hagkvæmni verksmiðju viðskiptavinarins.
Lausnir
HL Cryogenic Equipment veitir viðskiptavinum tómarúm einangruðu leiðslukerfið til að uppfylla kröfur og skilyrði hálfleiðara og flísariðnaðar:
1. Gæðastjórnunarkerfi: ASME B31.3 Þrýstingslögnarkóði.
2.A Sérstakur fasaskilnaður með mörgum kryógenískum vökvainntaki og innstungu með sjálfvirkri stjórnunaraðgerð uppfyllir kröfuna um losun gas, endurunnið fljótandi köfnunarefni og hitastig fljótandi köfnunarefnis.
3. Launun og tímabær útblásturshönnun tryggir að flugstöðvunarbúnaður virki alltaf innan hönnuð þrýstingsgildis.
4. Gas-fljótandi hindrunin er sett í lóðrétta VI pípuna í lok Vi leiðslu. Gas-fljótandi hindrun notar meginregluna um gasþéttingu til að hindra hitann frá lokum VI leiðslunnar í VI leiðslur og draga í raun úr tapi á fljótandi köfnunarefni við ósamfellda og hlé á þjónustu kerfisins.
5.VI Lögur sem stjórnað er af tómarúm einangruðum lokum (VIV) röð: þar með Nauðsynlegt. VIV er samþætt við VIP forsmíði hjá framleiðanda, án einangraðrar meðferðar á staðnum. Hægt er að skipta um innsigli einingar VIV auðveldlega. (HL tekur við kryógenalokamerkinu sem tilnefnt er af viðskiptavinum og gerir síðan tómarúms einangruð lokar með HL. Sum vörumerki og líkön af lokum geta ekki verið hægt að gera í lofttæmis einangraða lokana.)
6. Hreinsun, ef það eru viðbótarkröfur um hreinleika innri slöngunnar. Lagt er til að viðskiptavinir velji BA eða EP ryðfríu stáli rör sem VIP innri rör til að draga enn frekar úr ryðfríu stáli.
7.Vacuum einangruð sía: Hreinsið möguleg óhreinindi og ísleifar úr tankinum.
8. Eftir nokkra daga eða lengri lokun eða viðhald er mjög nauðsynlegt að forða vi leiðslunum og endanlegum búnaði áður en kryógenvökvi er sleginn inn, svo að forðast ísslags eftir að kryógenvökvi fer beint inn í VI lagnir og lokbúnað. Íhuga skal forstillingu við hönnun. Það veitir betri vernd fyrir flugstöðvunarbúnað og VI leiðslubúnað eins og lokar.
9.STAÐI BÆÐI FYRIR DYNAMIC OG STATIC Vacuum einangrað (sveigjanlegt) rörkerfi.
10. ). Hægt er að aðlaga lengd einnar vi sveigjanlegrar slöngu eftir kröfum notanda.
11. Tegundir tengingar: Hægt er að velja Tacuum Bayonet Connection (VBC) gerð og soðna tengingu. VBC gerðin þarf ekki einangraða meðferð á staðnum.
