Chip MBE verkefninu lokið á undanförnum árum

Tækni

Molecular beam epitaxy, eða MBE, er ný tækni til að rækta hágæða þunnar filmur af kristöllum á kristal hvarfefni.Við mjög hátt lofttæmisaðstæður, er hitunarofninn búinn alls kyns nauðsynlegum íhlutum og myndar gufu, í gegnum göt sem myndast eftir að geisla er sameinað atóm- eða sameindageisla, beina innspýtingu að viðeigandi hitastigi einkristalla undirlagsins, stjórna sameindageisla til hvarfefnið skanna á sama tíma, það getur gert sameindirnar eða atómin í kristaljöfnunarlögum til að mynda þunna filmu á undirlaginu "vöxt".

Fyrir eðlilega notkun MBE búnaðar þarf háan hreinleika, lágan þrýsting og ofurhreint fljótandi köfnunarefni að vera stöðugt og stöðugt flutt í kælihólf búnaðarins.Almennt séð hefur tankur sem gefur fljótandi köfnunarefni úttaksþrýsting á milli 0,3 MPa og 0,8 MPa. Fljótandi köfnunarefni við -196 ℃ gufar auðveldlega upp í köfnunarefni við flutning á leiðslum.Þegar fljótandi köfnunarefni með gas-vökvahlutfallið um það bil 1:700 er gasað í leiðslunni mun það taka mikið magn af fljótandi köfnunarefnisflæðisplássi og draga úr eðlilegu flæði í lok fljótandi köfnunarefnisleiðslunnar.Að auki, í geymslutankinum fyrir fljótandi köfnunarefni, er líklegt að það sé rusl sem ekki hefur verið hreinsað.Í fljótandi köfnunarefnisleiðslu mun tilvist blauts lofts einnig leiða til myndunar ísgjalls.Ef þessi óhreinindi eru losuð í búnaðinn mun það valda ófyrirsjáanlegum skemmdum á búnaðinum.

Þess vegna er fljótandi köfnunarefni í útigeymslutankinum flutt til MBE búnaðarins á ryklausu verkstæðinu með mikilli skilvirkni, stöðugleika og hreinni, og lágþrýstingur, ekkert köfnunarefni, engin óhreinindi, 24 klukkustundir óslitið, slíkt flutningsstýringarkerfi er hæf vara.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Samsvarandi MBE búnaður

Síðan 2005 hefur HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) verið að fínstilla og bæta þetta kerfi og unnið með alþjóðlegum MBE búnaðarframleiðendum.MBE búnaðarframleiðendur, þar á meðal DCA, REBER, hafa samvinnutengsl við fyrirtækið okkar.MBE búnaðarframleiðendur, þar á meðal DCA og REBER, hafa unnið í miklum fjölda verkefna.

Riber SA er leiðandi á heimsvísu fyrir sameindageislaeitrun (MBE) vörur og tengda þjónustu fyrir rannsóknir á samsettum hálfleiðurum og iðnaðarnotkun.Riber MBE tækið getur sett mjög þunn lög af efni á undirlagið, með mjög mikilli stýringu.Tómarúmbúnaður HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) er búinn Riber SA Stærsti búnaðurinn er Riber 6000 og sá minnsti er Compact 21. Hann er í góðu ástandi og hefur hlotið viðurkenningu viðskiptavina.

DCA er leiðandi oxíð MBE í heiminum.Síðan 1993 hefur kerfisbundin þróun oxunartækni, andoxunarhvarfshitunar og andoxunargjafa verið framkvæmd.Af þessum sökum hafa margar leiðandi rannsóknarstofur valið DCA oxíð tækni.Samsett hálfleiðara MBE kerfi eru notuð um allan heim.VJ fljótandi köfnunarefnis hringrásarkerfi HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) og MBE búnaður margra gerða af DCA hafa samsvörunarreynslu í mörgum verkefnum, svo sem gerð P600, R450, SGC800 o.fl.

tcm (2)

Frammistöðutafla

Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences
11th Institute of China Electronics Technology Corporation
Hálfleiðarastofnun, Kínverska vísindaakademían
Huawei
Alibaba DAMO Academy
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Birtingartími: 26. maí 2021