Tækni
Sameindageislaþekju, eða MBE, er ný tækni til að rækta hágæða þunnt filmur af kristöllum á kristal undirlag. Við öfgafullt lofttæmisaðstæður, með upphitunarofninum er búin alls kyns nauðsynlegum íhlutum og myndar gufu, í gegnum göt sem myndast eftir að geisla geislaeinkenni eða sameinda geisla, bein innspýting að viðeigandi hitastigi stakra kristals undirlags, sem stýrir sameinda geisla til Undirlagsskönnunin á sama tíma, það getur gert sameindir eða atóm í kristalréttingarlögum til að mynda þunnt filmu á „vöxt“ undirlags.
Fyrir venjulega notkun MBE búnaðar er krafist að mikill hreinleiki, lágþrýstingur og öfgafullt fljótandi köfnunarefni verði stöðugt og stöðugt flutt til kælingarhólfs búnaðarins. Almennt hefur tankur sem veitir fljótandi köfnunarefni afköst þrýsting á milli 0,3MPa og 0,8MPa.Liquid köfnunarefnis við -196 ℃ er auðveldlega gufað upp í köfnunarefni við flutning á leiðslum. Þegar fljótandi köfnunarefnið með gas-fljótandi hlutfall um það bil 1: 700 er gasað í leiðslunni mun það taka mikið magn af fljótandi köfnunarefnisrennslisrými og draga úr venjulegu rennsli í lok fljótandi köfnunarefnisleiðslunnar. Að auki, í fljótandi köfnunarefnisgeymslutank, er líklegt að það sé rusl sem hefur ekki verið hreinsað. Í fljótandi köfnunarefnisleiðslunni mun tilvist blauts lofts einnig leiða til myndunar ísslags. Ef þessi óhreinindi eru tæmd í búnaðinn mun það valda ófyrirsjáanlegum tjóni á búnaðinum.
Þess vegna er fljótandi köfnunarefnið í geymslutankinum úti flutt til MBE búnaðarins í ryklausa verkstæðinu með mikilli skilvirkni, stöðugleika og hreinum, og lágþrýstingur, ekkert köfnunarefni, engin óhreinindi, sólarhrings samfelld, slíkt flutningastjórn hæfur vara.



Samsvarandi MBE búnaði
Síðan 2005 hefur HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) verið að fínstilla og bæta þetta kerfi og vinna með alþjóðlegum framleiðendum MBE búnaðar. Framleiðendur MBE búnaðar, þar á meðal DCA, Reber, hafa samvinnusambönd við fyrirtæki okkar. Framleiðendur MBE búnaðar, þar á meðal DCA og Reber, hafa unnið í miklum fjölda verkefna.
Riber SA er leiðandi alþjóðlegur veitandi sameinda geislalyfja (MBE) vörur og tengd þjónusta við samsettar hálfleiðara rannsóknir og iðnaðarforrit. RIBER MBE tækið getur lagt mjög þunnt lag af efni á undirlagið, með mjög háum stjórntækjum. Tómarúmbúnað HL Cryogenic búnaðar (HL Cryo) er búinn Riber SA Stærsti búnaðurinn er Riber 6000 og minnsti er samningur 21. hann er í góðu ástandi og hefur verið viðurkenndur af viðskiptavinum.
DCA er leiðandi oxíð MBE heims. Síðan 1993 hefur kerfisbundin þróun oxunartækni verið gerð andoxunarefnishitunar og andoxunarefna. Af þessum sökum hafa margar leiðandi rannsóknarstofur valið DCA oxíð tækni. Samsett hálfleiðari MBE kerfi eru notuð um allan heim. VJ fljótandi köfnunarefnishringskerfi HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) og MBE búnaður margra gerða af DCA hafa samsvarandi reynslu í mörgum verkefnum, svo sem Model P600, R450, SGC800 o.fl.

Frammistöðuborð
Shanghai Institute of Technical Physics, Kínverska vísindaakademían |
11. Institute of China Electronics Technology Corporation |
Institute of Semiconductors, kínverska vísindaakademían |
Huawei |
Fjarvistarsönnun Damo Academy |
PowerTech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Pósttími: maí-26-2021