Þar sem framleiðendur hálfleiðara halda áfram að færa sig í átt að háþróaðri umbúðatækni, þar á meðal samþættingu örgjörva, flip-chip bonding og 3D IC arkitektúr, hefur þörfin fyrir mjög áreiðanlega lághitakerfisinnviði orðið mikilvægari en nokkru sinni fyrr. Í þessu umhverfi eru kerfi sem eru byggð upp í kringumHL KryógenísktLofttæmdar pípur, einangraðar pípur, aðskilnaður, loki og lokakassi gegna lykilhlutverki í að viðhalda hitauppstreymis nákvæmni og rekstrarstöðugleika.
Kryógenísk stjórnun í nákvæmum umbúðalínum
Nútíma örgjörvaumbúðir og prófanir fela oft í sér miklar hitabreytingar, sérstaklega við hitahringrás, áreiðanleikaskimun og lághitagreiningu. Aðalhlutverk HL kryógenískslofttæmis einangruð pípaer að afhenda lágþrýstingsvökva, yfirleitt fljótandi köfnunarefni, en lágmarka varmainnstreymi frá nærliggjandi hreinrými.
Þökk sé háu lofttæmisstigi og fjöllaga einangrunarhönnun er HL Cryogeniclofttæmisklæddur pípaKerfið bælir á áhrifaríkan hátt varmaleka og heldur vökvanum í stöðugu fljótandi formi yfir langar vegalengdir. Þetta tryggir samræmda kælingu á mörgum prófunarstöðvum og útilokar hitastigsbreytingar sem annars gætu haft áhrif á afköst gagna um hálfleiðara.
Í þreytuviðkvæmum prófunarumhverfum geta jafnvel smávægilegar hitasveiflur haft áhrif á nákvæmni mælinga. Þess vegna eru fleiri prófunarstöðvar að skipta yfir í HL Cryogenic lofttæmis einangruð rörkerfi sem langtímalausn fyrir stöðuga lághitaflutninga.
Fasastöðugleiki tryggður meðFasaskiljari
Við notkun gufar hluti af lághitavökvanum óhjákvæmilega upp þegar hann drekkur í sig umhverfisvarma. HL lághitavökvifasaskiljarigegnir lykilhlutverki með því að aðskilja gufu frá vökva áður en hún nær til mikilvægs búnaðar. Þetta tryggir að aðeins undirkældur vökvi komist inn í viðkvæma prófunarklefa og mælistöðvar.
Með því að koma í veg fyrir tveggja fasa flæði bætir HL Cryogenic fasaskiljarinn endurtekningarhæfni ferlisins verulega og verndar stjórnbúnað neðri hluta fyrir óstöðugleika í flæði. Þetta er sífellt mikilvægara eftir því sem rúmfræði tækja minnkar og vikmörk verða minni í háþróaðri hnútatækni.
Rekstraröryggi stjórnað afLokiogVentilkassi
Flæði og þrýstingur lághitavökva innan HL Cryogenic lofttæmdra pípukerfisins er stjórnað með sérhönnuðum HL Cryogenic lokum. Þessir íhlutir eru hannaðir til að starfa áreiðanlega við mjög lágt hitastig og hraðar hitabreytingar.
Til að auka enn frekar öryggi og aðgengi kerfisins er hver HL Cryogenic loki staðsettur í einangruðum HL Cryogenic lokakassa. Lokakassinn verndar lokann gegn raka, dregur úr frostmyndun og gerir tæknimönnum kleift að framkvæma skoðanir og stillingar án þess að raska hitajafnvægi í kring.
Þessi þétta, mátbundna uppsetning passar einnig vel við þær strangar rýmistakmarkanir sem eru algengar í hálfleiðaraumbúðaverksmiðjum og hreinrýmum.
Snjallt val á innviðum fyrir háþróaða hálfleiðaraverksmiðjur
Þar sem iðnaðurinn stefnir að meiri samþættingarþéttleika og strangari prófunarstöðlum er lághitakerfisuppbygging ekki lengur aukaatriði. Hálfleiðaraframleiðendur sem fjárfesta í HL Cryogenic lofttæmiseinangruðum pípum, HL Cryogeniclofttæmisklæddur pípa, aðskiljari, lokioglokakassiKerfin öðlast mælanlegan ávinning í skilvirkni, öryggi og langtímakostnaðarstýringu.
Í samkeppnishæfu framleiðsluumhverfi getur stöðugleiki lághitanetsins að lokum haft áhrif á afköst vöru, líftíma búnaðar og rekstrarstöðugleika — sem gerir HL Cryogenic lausnir að nauðsynlegum hluta af hálfleiðarainnviðum.
Birtingartími: 2. des. 2025


